精密柱塞泵是由電動機提供泵的動力，經鼓型齒聯軸器帶動減速機轉動。由減速機減速帶動曲軸旋轉。通過曲柄連桿機構，將旋轉運動轉變為十字頭和柱塞為往復運動。當柱塞向后死點移動時，泵容積腔逐步增大，泵腔內壓力降低，當泵腔壓力低于進口壓力時，吸入閥在進口端壓力作用下開啟，液體被吸入；當柱塞向前死點移動時，泵腔內壓力增大，此時吸入閥關閉，排出閥打開，液體被擠出液缸，達到了吸入和排出的目的。

　　精密柱塞泵的泵油機構包括兩套精密偶件：柱塞和柱塞套構成柱塞偶件、出油閥和出油閥座構成出油閥偶件。柱塞和柱塞套是一對精密偶件，經配對研磨后不能互換，要求有高的精度和光潔度和好的耐磨性，其徑向間隙為0.002～0.003mm 。柱塞頭部圓柱面上切有斜槽，并通過徑向孔、軸向孔與頂部相通，其目的是改變循環供油量；柱塞套上制有進、回油孔，均與泵上體內低壓油腔相通，柱塞套裝入泵上體后，應用定位螺釘定位。柱塞頭部斜槽的位置不同，改變供油量的方法也不同。

　　出油閥和出油閥座也是一對精密偶件，配對研磨后不能互換，其配合間隙為0.01mm 。出油閥是一個單向閥，在彈簧壓力作用下，閥上部圓錐面與閥座嚴密配合，其作用是在停供時，將高壓油管與柱塞上端空腔隔絕，防止高壓油管內的油倒流入噴油泵內。

　　出油閥的下部呈十字斷面，既能導向，又能通過柴油。出油閥的錐面下有一個小的圓柱面，稱為減壓環帶，其作用是在供油終了時，使高壓油管內的油壓迅速下降，避免噴孔處產生滴油現象。當環帶落入閥座內時則使上方容積很快增大，壓力迅速減小，停噴迅速。

　　柱塞泵滑靴與斜盤的滑動磨擦是斜盤柱塞泵三對磨擦副中復雜的一對。出柱塞桿球頭與滑靴球窩的間隙，如果柱塞與滑靴間隙超差，柱塞腔中的高壓油就會從柱塞球頭與滑靴間隙中泄出，滑靴與斜盤油膜減薄，嚴重時會造成靜壓支承失效，滑靴與斜盤發生金屬接觸磨擦，滑靴燒蝕脫落，柱塞球頭劃傷斜盤。柱塞桿球頭與滑靴球窩超出公差1.5倍時，必須成組更換之。